(1) 干燥设备
   选用具有低温真空干燥功能的专用干燥釜。设备需具备精que的温度控制（可精que至±1℃）、良好的真空度调节（可达到 10 - 3 Pa 以下）和稳定的运行性能。设备材质应为耐腐蚀性材料，如内衬聚四氟乙烯或采用哈氏合金等，以防止无水氟化氢对设备的腐蚀。
  (2) 辅助设备
   配备真空泵、气体循环系统、温度传感器、压力传感器、湿度传感器等。真空泵用于维持干燥过程中的真空环境；气体循环系统可促进无水氟化氢气体的排出，并保证干燥环境的均匀性；传感器用于实时监测和反馈干燥过程中的关键参数。
  (3) 包装材料
   准备具有高阻隔性能的铝箔袋或内衬聚四氟乙烯的密封容器，用于干燥后六氟磷酸锂的包装，防止产品在包装过程中吸收水分和重新吸附无水氟化氢。
  (4) 防护用品
   准备防腐蚀手套、面罩、防护服等个人防护用品，以及用于处理无水氟化氢泄漏等紧急情况的应急设备和材料，如中和剂（如石灰水等）、吸附材料等。